采用 3D 激光掃描，通過分析 Z 向高度特征，檢測產品的溢膠狀態(tài)，同時， 還可以完成產品高度差平面度的測量。

·測量應用：適用于產品的溢膠以及高度差、平面度檢測；

·4 個檢測工位，同時測量 4 片產品；

·3D 激光掃描，測量膠體 Z 向高度；

·L 型定位夾具，定位精準；

·SPC 數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)；

·測量精度 5μm。